CNC カスタマイズされた紡績タンタル部品
最新の半導体エピタキシャル ウェーハ成長(EPY)、物理蒸着(PVD)蒸発源、安全性の高いスラスタ ノズル、極度に腐食性の媒体(沸騰硫酸、ウォーターキング、高圧塩酸など)反応器では、動作温度が 1000 度を超えることが多く、強酸による浸食を伴うことがよくあります。-従来のニッケル-ベースの合金、ジルコニウム材料、さらにはチタン材料でも、急速な構造穿孔破壊が発生する傾向があります。
参考図に示されているように、当社の高純度精密タンタル金属紡績部品および CNC 機械加工部品は、100% 電子ビーム再溶解 (EB) された高純度 ASTM B708 R05200 の純粋なタンタル プレートおよびバーから厳密に選択されています。{0}{2}高度な CNC パワー スピニング テクノロジーと、統合されたシームレスな加工のための高精度多軸 CNC 加工/溶接プロセスを通じて、非常に高密度の材料と非常に均一な厚さを実現しながら、純粋なタンタルの並外れた性能が最大限に維持されます。耐酸腐食性と高温構造安定性。当社は、地図のカスタマイズ(OEM / ODM)のための CAD / 3D モデルを提供しており、材料の信頼性に関するヨーロッパとアメリカのハイテク産業プロセスの厳しい要件を完全に満たしています。{10}
I. 優れた核となる利点 (エリート エンジニアリングの利点)
シームレス一体成型と完全等方性(シームレスメタルスピニング):図のコーン/ファンネルサンプルと組み合わせて、縦方向の溶接を一切行わずにパワースピニングプロセスで一括成形した一連の製品です。一方で、これにより、溶接部の粒子によって引き起こされる耐食性の低下、異方性、または高温引張変形のリスクが完全に回避されます。一方で、その流線型の幾何学的遷移により、流体の内部抵抗と温度集中応力の蓄積が大幅に増加します。
特殊形状の CNC 彫刻による精密溶接: 図に示すように、複雑な回転体の場合、高精度 CNC 機械加工による位置決め + 真空電子ビーム (EBW)/アルゴン アーク溶接プロセスを採用し、多孔質ブラケットと中央位置決めリングを組み立てることができます。-溶接溶け込み率は 100% で、溶接後に厳格な高温焼鈍が行われ、複雑な幾何学的空間を持ちながら、ワークピース全体が母材と同じ究極の粒界腐食耐性を 100% 保持することが保証されます。-
エリートの化学的および熱的不活性: タンタルの化学的安定性は非常に高く、150 度以下では硝酸や塩酸 (フッ化水素酸 HF を除く) を含むほぼすべての強酸に対して完全に化学的に不活性です。最大 2996 度の融点により、高出力電子ビーム蒸着るつぼライナーでの使用中に熱溶融による形態的クリープが発生することはありません。-
II.コア技術パラメータと化学組成マトリックス (Technical Parameter & Chemistry Matrix)
材料の化学的および機械的指標に対するハイエンド クライアントの厳格なトレーサビリティ要件を満たすために、コアデータは次のように編集されています。{0}
技術パラメータと化学マトリックス
| 寸法 | 技術仕様とマトリックス |
| 基本情報 | |
| 材質グレード | R05200 (工業用高純度-純タンタル|純度 99. 95% 以上); R05400 (高純度真空電子ビーム再溶解タンタルグレード)- |
| 規格 | ASTM B708 (タンタルおよびタンタル合金のプレート、ストリップ、シート、フォイルの標準仕様)、ASTM B365 (バー/ワイヤ標準)、ASME 仕様 |
| 製造タイプ | CNC スピニング、CNC ターニング/フライス加工、レーザー/電子ビーム溶接の表面仕上げ |
| 表面仕上げ | 図に示すように、研磨仕上げは透明で濃い銀色です)、またはミクロン スケールの均一なサンドブラスト仕上げ- |
| 仕様 | 難しいCAD/3D図面の個別設計をサポート(カスタムCAD/3D設計をサポート) |
| 構成 | コーン / ファンネル、るつぼライナー、カップ カバー、スリーブ、フランジ付きの非標準溶接部品{0}} |
| 寸法 | 直径φ10mm-φ500mmまで製作可能(大きな変形時でも肉厚公差±0.05mmを維持可能) |
| 機械的性質 | 圧延・スピニングによる応力除去、室温20度で焼鈍(高強度、大伸び) |
| 抗張力 | 240MPa 以上 (無応力状態)、冷間加工硬化下では 380MPa 以上に達する可能性があります- |
| 降伏強さ | 140MPa以上(無応力状態) |
| 伸長 | 25% ~ 35% 以上 (タンタルは室温での優れた可塑性により、大きな回転変形下でも優れた破壊靱性を維持します) |
| 化学 % | 金属不純物と侵入型元素は ASTM B708 規格の管理要件よりもはるかに優れています |
| Ta (マトリックス純度) | 99. 95% 以上 (ニオブや Hf などの主要な関連元素および不純物元素を差し引く) |
| Nb (ニオブ関連不純物制御) | 0.05%以下 |
| W|モ|ティ | W 0.01%以下|Mo 0.01%以下|Ti 0.002%以下 |
| O|N|H | O 0.015%以下|N 0.01%以下| H 0.0015%以下(15ppm以下) |
Ⅲ.無駄のない生産と表面処理
製造原料の探傷とビレットの開口: 真空電子ビームで何度も溶解された高密度の純粋なタンタルの板/棒を選択し、100% 超音波非破壊探傷を実施して、原料の内部に微細なスラグの混入、細孔、剥離欠陥がないことを確認します。-
数値制御パワースピニング: 多軸数値制御スピニングマシンを使用して、タンタルウエハーに強力な冷間スピニングを実行し、回転するホイールセット材料を通して局所的に極度の高圧を加えます。これにより、タンタルウエハーは金型の形状に沿って徐々に伸び、継ぎ目のない円錐または漏斗になります。冷間加工により局所的な硬度と強度を強化でき、結晶粒の分布が非常に近くなります。
CNC ステップ切断とインデックス穴あけ: スピンされた半完成品は CNC マシニング センターで再仕上げされ、余分なバリが正確に除去され、必要なエッジ ステップがフライス加工され、穴が開けられバリ取りされ、図面で要求されるミクロン レベルの組み立て精度が実現されます。-
微細な表面研磨: タンタル紡糸部品は、化学機械研磨または高純度混合酸の表面酸洗と活性化によって処理されます。これにより、表面の微細なナイフ痕が除去されるだけでなく、図の光沢に示すように、明るいシルバー グレーの金属鏡面が現れます。-
真空応力除去アニーリング: 完成品を高-真空アニーリング炉に入れ、1100 度以上で均一な高-真空アニーリングを実行し、スピニングや機械的切断によって生じた格子歪み応力を完全に解放し、優れた伸びを回復します。
IV.国境を越えた最先端のアプリケーション(高価値市場アプリケーション)-
半導体および真空コーティングるつぼライナー (PVD るつぼライナー): 電子ビーム蒸着または熱蒸着真空コーティング装置では、タンタルの融点が非常に高く、さまざまな金属溶液との高温混和反応のため、るつぼスリーブ (ライナー) と反射漏斗がコア蒸発源としてよく使用されます。
高腐食性化学ハードウェア: 高濃度の塩酸、硫酸、または医薬品成分を生成する強酸システムにおける供給導管、反応器底部の排出漏斗、および特殊な防食シールとして使用されます。
物理学研究所および超電導コンポーネント (物理学および UHV 研究所): タンタルは優れた超電導元素 (超電導臨界温度 4.47 K) です。超真空または極低温-の物理実験装置では、この一連のシームレスなスピニング カスタム パーツが重要なコールド シールドや流体加速器としてよく使用されます。

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