焼きなまし{0}状態のニオブ立方体とは何ですか?
アニールされた状態のニオブ立方体に関しては、冷間加工および切断後、ニオブ立方体には大量の切断内部応力、格子転位、水素-吸着不純物などが保持されます。
この問題を解決して排除するために、ニオブ立方体に焼きなまし状態の処理が施されます。{0}}焼きなまし-状態のニオブ立方体とは、高真空/高純度水素雰囲気中で完成した立方体を指します。この立方体は、800～1250 度の高温保持熱処理、ゆっくりとした温度制御による冷却を経て、応力除去、再結晶化、真空脱ガス、表面還元と酸化物除去の 4 つのプロセスを経て、軟-状態の蒸発材料になります。-これは、OLED、光学部品、およびハイエンド半導体蒸着コーティング用に指定されたグレードであり、アニールされていない冷間硬化状態のニオブ立方体とは異なります。-
標準アニーリングプロセス (真空コーティンググレードのアニーリングキューブ)
1. 雰囲気: 真空アニール (1×10-3 Pa 以上) または高純度水素光輝アニール;空気から隔離し、高温での酸素の吸収と酸化を防ぎます。
2. 温度範囲
◦ 歪取焼鈍：800～900度、切削応力を除去し、表面吸着水素や水蒸気を除去
◦ 完全再結晶焼鈍: 1050 ～ 1300 度、結晶粒径を微細化し、格子不純物を完全に放出
3. プロセス: 高温保持 → 温度勾配制御徐冷 → 炉内で室温まで冷却 → 脱脂洗浄 → 真空シール包装
アニールされたニオブ立方体コアの利点 (真空コーティングの問題点に対処)
1. 内部ガスを完全に排除し、キャビティガスの排出量が極めて少なく、高い真空安定性を確保します。ニオブの冷間加工中、内部格子には H2、N2、および微量の水蒸気が保持されます。電子ビームの高温照射中、連続的なガス放電が発生し、キャビティの真空レベルが変動し、フィルム上にピンホール、曇り、色の違いが発生します。
高度な脱ガスは高温アニーリングで完了します。大量の水素、吸着水、格子間不純物ガスが放出され、真空蒸着プロセスのピークアウトガスが大幅に減少し、安定したキャビティ真空が維持され、多層光学フィルムと半導体バリア層の歩留まりが大幅に向上します。-
2. 切断残留応力を排除し、高温蒸発中に亀裂や飛沫が発生しないようにします。-焼きなましされていない冷間硬化ニオブには内部応力が集中しています。{3}電子ビームによる局所的な高温-加熱中に応力が解放され、その結果、粒子の亀裂や破片の飛散が発生し、るつぼや基板が汚染され、膜厚の急激な変化が引き起こされ、ターゲット材料の損失が加速されます。焼きなまし後、格子が再構成され、応力が完全に解放され、材料がより柔らかく延性が高くなります。 -長期間の高温-電子ビーム照射下では、材料全体が亀裂や断片化なく均一に加熱され、蒸発速度は直線的に安定しており、一貫した再現性と膜厚の一貫性があり、連続パネル生産ラインに適しています。
3. 表面の酸化層を除去し、膜中の酸素不純物を減らします。ニオブは室温で容易に微量の Nb2O5 酸化物層を形成します。アニールされていない原料の蒸発は酸化物の同時蒸発を引き起こし、その結果、金属ニオブ膜中の酸素含有量が過剰になり、導電率が低下します。 Nb2O5 光学フィルムを製造する場合、屈折率の変動とスペクトルのシフトが発生します。水素アニーリングは表面酸化層を修復でき、真空アニーリングは表面酸素を基板内に均一に拡散させ、その結果、遊離酸化層のない清浄な表面、蒸着膜中の制御可能な不純物含有量、光学パラメータと導電パラメータの強力なバッチ一貫性、高精度の光学コーティングと半導体膜の堆積への適合性が得られます。-
4. 均一な結晶粒の微細化、均一な熱伝導、安定した制御可能な蒸発速度。冷間加工されたニオブの粒子は歪んでおり、サイズが不均一であり、局所的な熱伝導に大きな違いがあります。電子ビーム照射中に、局所的な過剰溶解または不十分な蒸発が発生します。-アニーリング後、再結晶化が完了し、立方体粒子のバランスのとれた熱伝導率を備えた等軸微粒子構造が形成され、るつぼ内の材料のバッチ全体が同時に蒸発するため、電子ビーム出力を頻繁に調整する必要がなくなり、プロセスのデバッグコストが削減され、高精度の光学コーティングや半導体膜の堆積に適しています。-
5. 高温クリープに対して耐性があり、長期の蒸発中に崩壊や変形が起こりにくい-。焼きなましされたニオブは、可塑性が向上し、高温での構造安定性が強化されています。-るつぼは高温で長期間放置しても軟化して崩壊したり塊を形成したりすることはなく、充填密度も変化しないため、材料補充のための機械のダウンタイムの頻度が減り、生産ラインの稼働率が向上します。硬質ニオブと比較して、連続蒸着寿命が 30% 以上長くなります。
上記焼鈍ニオブ製品の棒、板、立方体、または特殊なニーズのある絞り加工品をお持ちの場合は、お問い合わせください。
